Optisches Mikroskop MSA-100-3D

für MEMS3Dkleinformatig

3D Schwingungsmessung für MEMS und Mikrosysteme Schwingungen realer Objekte sind gewöhnlich dreidimensional. Sie können Vorzugsrichtungen aufweisen, aber Fertigungstoleranzen und weitere Einflüsse führen zu Bewegungskomponenten auch in anderen Raumrichtungen. Mit dem MSA-100-3D Micro System Analyzer analysieren Sie das dynamische Verhalten Ihrer Messobjekte ganzheitlich, breitbandig und in Echtzeit. Die Schwingungskomponenten in allen drei Raumrichtungen werden gleichzeitig und hochaufgelöst erfasst und als ein integrierter Datensatz analysiert. Die für Laser-Vibrometer typische Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich erreichen Sie unabhängig von der Schwingungsrichtung. Schwingungsmessung in Echtzeit mit hoher Bandbreite bis 25 MHz Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich für Out-of-Plane und In-Plane Bewegungen Sowohl Einpunkt- als auch vollflächige Messungen Kleiner Laserpunkt < 4 μm ermöglicht höchste laterale Auflösung Große Arbeitsabstände bis 38mm Kompatibel mit gängigen MEMS Probe-Stations