Schwingungsmesssystem MSA-600

optisch

Dynamik und Topografie von MEMS berührungslos messen Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen. Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert sowohl die Topografie als auch in-plane und out-of-plane Bauteilbewegungen. Die Varianten MSA-600-M/V decken Frequenzbereiche bis zu 25 MHz ab - ideal geeignet für MEMS wie MEMS-Mikrofone und andere Mikrosysteme. Die Varianten MSA-600-X/U decken den hohen und sehr hohen Frequenzbereich bis 2,5 GHz ab - perfekt zur Validierung von HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Filtern wie SAW-Filter, BAW-Filter und mehr. PREMIERE Das MSA-600-S ist das weltweit erste Laservibrometer für den Superhochfrequenz-Bereich (SHF) mit bis zu 6 GHz Echtzeit-Schwingungsmessung und 3D-Topografiemessung. Diese spezielle SHF-Messlösung ist ideal für die hochpräzise Erfassung des realen Schwingverhaltens an GHz MEMS wie beispielsweise FBAR (Film Bulk Acoustic Resonators), BAW (Bulk Acoustik Wave) oder SAW (Surface Acoustic Wave) Filter.