PVD-Auftragsmaschine Pi1511

Die Pi1511 ist eine grossvolumige PVD-Beschichtungsanlage. Sie kombiniert drei rotierende PLATIT LARC® XL-Kathoden in der Tür mit zwei planaren Arc-Kathoden im hinteren Bereich der Kammer. Die Kombination von Rundkathoden mit leistungsstarken planaren Kathoden erlaubt das Abscheiden von ausgewählten PLATIT Signature Coatings in der gewohnten Flexibilität. Die LARC® XL-Kathoden haben eine sehr lange Laufzeit und garantieren somit hohe Produktivität mit niedrigen Kosten pro Beschichtung. Technologie 3 LARC® XL-Kathoden (LAteral Rotating XL Cathode) in der Tür 2 planare Kathoden im hinteren Bereich zur Arc-Beschichtung MAC-3C (Magnetic Arc Confinement – Coil Current Compensation) für automatisierte Magnetfeldanpassung Schnelle Kathodenwechsel Abscheidung von ausgewählten PLATIT Signature Coatings Ätzverfahren Bei der PLATIT Pi1511 Beschichtungsanlage können mehrere Ätzverfahren zum Einsatz kommen, die Ihnen verschiedene Vorteile bieten: LGD® (Lateral Glow Discharge) Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten Beschichtungs-Volumen: max. ø715 x H805mm Beschichtungs-Höhe mit definierter Schichtdicke: max. 711mm Beladung: max. 750kg, schwerere Beladung auf Anfrage Chargen/Tag: 3 Modulare Karussellsysteme 1-12 Achsen Software PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) Einfache Bedienung und Wartung Modernes User-Interface mit Menüführung auf Touchscreen Prozessvisualisierung in Echtzeit inkl. Datenaufzeichnung und Datenverwaltung Manuelle und automatische Prozesskontrolle Ferndiagnose und Fernwartung möglich