Vakuumbeschichtungssystem
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Eigenschaften
- Merkmal
- Vakuum
Beschreibung
Ein roboterbetriebenes Mehrkammersystem für die komplexesten Beschichtungsprozesse in einer Niederdruckumgebung.
Maße: -
L: 2000mm B: 1800mm H: 2000mm
Gewicht: -
~ 320 KG
Volumen: -
50 Liter
3 Kammern: -
Aluminium, L: 300 B: 300 H: 300
Mikrowellenausgang / MHz: -
2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
Inklusive: -
3x3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer)
Zusätzlich: -
Luftschleusenrobotik, Beispielshalterung für die Luftschleuse
Substrathalterung (optional): -
Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung: -
DN 63 ISO-KF
Belüftung: -
elektromagnetisches Ventil
3 Pumpensysteme: -
40m³/h
Kammertür: -
Wartungskammertüren
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.