Vakuumbeschichtungssystem Series 3000 LV 800/1000

Dies ist das Parylene-System. Es ist ein modulares System, das in zwei Teile unterteilt ist: Kammermodul und Verdampfermodul. Maße: - L: 2600mm B: 960 H: 1460mm Gewicht: - ~ 450 KG Volumen: - 800 / 1000 Liter Kammer: - 1150mm Ø H: 600mm (800 Liter), 1000mm Ø H: 1100 Plasmaquelle: - 2,45GHz, 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich Kühlung: - 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle) Vakuumverbindung: - DIN 63 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - 75m³/h Elektronische Verbindung: - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW