Dies ist das Parylene-System. Es ist ein modulares System, das in zwei Teile unterteilt ist: Kammermodul und Verdampfermodul.
Maße: -
L: 2400mm B: 960 H: 1460mm
Gewicht: -
~ 350 KG
Volumen: -
600 / 700 Liter
Kammer: -
800mm Ø H: 1100mm (600 Liter) / 1300mm (700 Liter)
Plasmaquelle: -
2,45GHz, 1200 Watt
Inklusive: -
1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
Kühlung: -
8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
Vakuumverbindung: -
DIN 63 ISO-KF
Belüftung: -
elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem: -
75m³/h
Elektronische Verbindung: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW