Beschichtungssystem Q 240

Das größte System in unserer Q-Serie. Perfekt für mehrere Wafer mit Größen bis zu 200 mm Durchmesser. Maße: - L: 760mm B: 775mm H: 775mm Gewicht: - 100 KG Volumen: - 20 Liter Kammer: - Quarzglas, 240mm Ø, B: 450mm Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 40 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - bis zu 40m³/h Kammertür: - Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten Wafergröße: - bis zu 200mm, bei einer anzahl von bis zu 50 Wafern