Beschichtungssystem Q 240S

Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen. Maße: - L: 620mm B: 550mm H: 500mm Gewicht: - 75 KG Volumen: - 9 Liter Kammer: - Quarzglas, 240mm Ø , B: 244mm Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 40 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - bis zu 25m³/h Kammertür: - Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten Wafergröße: - bis zu 150mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern möglich