Das absolut größte AL-System, das wir zu bieten haben. Für die größten Substrate und Mengen.
Maße: -
L: 1200mm B: 900mm H: 1800mm
Gewicht: -
300 KG
Volumen: -
800 Liter
Kammer: -
L: 900 B: 920 H: 900
Mikrowellenausgang: -
2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
Inklusive: -
1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
Substrathalterung (optional): -
Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung: -
DN 63 ISO-KF
Belüftung: -
elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem: -
bis zu 250m³/h
Kammertür: -
Schwenktür mit Fenster