Beschichtungssystem AL series

Bietet 3 Optionen für die Kammergröße, abhängig von der Größe der Substrate oder der erforderlichen Prozessgeschwindigkeit. Maße: - L: 1050mm B: 800mm H: 2020mm Gewicht: - 195 KG Volumen: - 140/160/300 Liter Kammer: - Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 520mm Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 63 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - bis zu 250m³/h (integriert) Kammertür: - Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür