Beschichtungssystem AL 36

Etwas größere Version des AL18 mit mehr Optionen und Ladevolumen. Maße: - L: 680mm B: 630mm H: 650mm Gewicht: - 110 KG Volumen: - 36 Liter Kammer: - Aluminium, L: 350mm B: 320mm H: 320mm Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 25 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - 15-65 m³/h Kammertür: - Schwenktür mit Fenster