Piezoelektrischer Nanopositionierer TRITOR® series

linearXYZPräzision

FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung in XY und Z. Bei einer einzigartigen Kompaktheit dieser Nanopositionierer können Parallelbewegungen bis 400 µm in allen drei Achsen realisiert werden. Das Besondere an den Antriebsystemen von piezosystem jena ist die integrierte Vorspannung jeder Achse, die bei hohen Beschleunigungen im dynamischen Betrieb ein Überschwingen verhindert. Das garantiert höchste Genauigkeit und hervorragende Führungseigenschaften. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, die in Verbindung mit der entsprechenden Steuerelektronik Drift- und Hystereseffekte verhindern. Die kapazitive Sensorik misst dabei direkt die Bewegung der Kopfplatte in XYZ. Somit wird, im Gegensatz zu anderen Anbietern, ein Achsübersprechen erkannt und vermieden.