Kompakte Mehrachsen-Aktoren mit Innenbohrung
• Ein- und mehrachsige Versionen
• Stellwege bis 10 × 10 × 10 µm
• Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
• Picometer-Auflösung
• Kurze Lieferzeiten
Piezo-Scheraktoren mit Innenbohrung
Betriebsspannung -250 bis 250 V. Laterale Bewegung basiert auf dem piezoelektrischen Schereffekt. Hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimalem elektrischem Leistungsbedarf.
Varianten ohne Innenbohrung oder für den Einsatz in kryogener Umgebung und UHV bis 10-9 hPa.
Mögliche Modifikationen
• Piezokeramikmaterial
• Unmagnetische Ausführungen
• Spannungsbereich, Auslenkung, Lagendicke, Querschnittsabmessung
• Belastbarkeit, Krafterzeugung
• Endstücke: flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.
• Verringerte Längentoleranzen
Einsatzgebiete
• Industrie und Forschung
• Tieftemperatur- / Vakuumversionen bis 10-9 hPa
• Scanning-Anwendungen
• Mikroskopie
• Präzisionsmechanik
• Schaltanwendungen