Kompakte Aktoren für kryogene und UHV-Umgebung
• UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
• Für kryogene Umgebung
• Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
• Picometer-Auflösung
• µs-Ansprechzeit
Piezo-Scheraktoren
Betriebsspannung -250 bis 250 V. Geeignet für den Einsatz in kryogener Umgebung und UHV bis 10-9 hPa. Laterale Bewegung basiert auf dem piezoelektrischen Schereffekt. Hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimalem elektrischem Leistungsbedarf.
Varianten für mehrachsige Bewegung, auch mit Innenbohrung.
Einsatzgebiete
• Industrie und Forschung
• Tieftemperatur- / Vakuumumgebung bis 10-9 hPa
• Scanning-Anwendungen
• Mikroskopie
• Präzisionsmechanik
• Schaltanwendungen
Mögliche Modifikationen
• Piezokeramikmaterial
• Unmagnetische Ausführungen
• Spannungsbereich, Auslenkung, Lagendicke, Querschnittsabmessung
• Belastbarkeit, Krafterzeugung
• Endstücke: flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.
• Verringerte Längentoleranzen