Kompakte Mehrachsen-Aktoren
• Ein- und mehrachsige Versionen
• Stellwege bis 10 × 10 × 10 µm
• Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
• Picometer-Auflösung
• Kurze Lieferzeiten
Piezo-Scheraktoren
Betriebsspannung -250 bis 250 V. Laterale Bewegung basiert auf dem piezoelektrischen Schereffekt. Hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimalem elektrischem Leistungsbedarf.
Varianten mit Innenbohrung oder für den Einsatz in kryogener Umgebung und UHV bis 10-9 hPa.
Einsatzgebiete
• Industrie und Forschung
• Scanning-Anwendungen
• Mikroskopie
• Präzisionsmechanik
• Schaltanwendungen
Mögliche Modifikationen
• Piezokeramikmaterial
• Unmagnetische Ausführungen
• Spannungsbereich, Auslenkung, Lagendicke, Querschnittsabmessung
• Belastbarkeit, Krafterzeugung
• Endstücke: flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.
• Verringerte Längentoleranzen