• Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
• Stellweg bis 38 µm
• Auflösung 0,1 nm
• Nichtmagnetische Versionen verfügbar
• Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
• Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
• Scanning-Mikroskopie
• Messtechnik
• Prüfverfahren und Qualitätssicherung
• Photonik
• Faserpositionierung
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Höhere Steifigkeit und Dynamik durch PICMA® Direktantrieb
Piezonanopositionierer mit PICMA® Direktantrieb haben keine mechanische Übersetzung. Dies ermöglicht schnelle Ansprechgeschwindigkeiten sowie die höchste erreichbare Steifigkeit und Dynamik im Piezoantriebsbereich.