Drehbarer Tisch A-68x

motorisiertMehrachsenPräzision

• Durchmesser Bewegungsplattform 365 mm, Durchmesser Apertur 260 mm • Niedrige Bauhöhe • Exzentrizität und Ebenheit < 300 nm Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RLA-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt. Sie haben eine flache Bauform und eine große freie Apertur. Die RLA-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln. Absolutencoder (optional) Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Einsatzgebiete Tomografie, Beamline-Systeme, Wafermetrologie, Waferinspektion, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können. 3-Phasen-Torquemotor • Bürstenlos • Geringes Rastmoment Zubehör und Optionen • Inkrementeller oder absoluter Encoder • PIglide Filter und Druckregler • Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe • Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung