Drehbarer Positioniertisch A-63x PIglide RL series

motorisiertMehrachsenPräzision

• Durchmesser Bewegungsplattform 150 mm, 200 mm, 300 mm oder 350 mm • Niedrige Bauhöhe • Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm • Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform. Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist. Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln. Absolutencoder (optional) Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Einsatzgebiete Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.