Luftkissentisch A-110 PIglide LC series
linearmit LinearmotorHochpräzision

Luftkissentisch
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Eigenschaften

Ausrichtung
linear
Typ
mit Linearmotor
Weitere Eigenschaften
Hochpräzision, Positionsencoder, Luftkissen
Hub

50 mm, 100 mm, 200 mm, 300 mm, 400 mm
(1,969 in, 3,937 in, 7,874 in, 11,811 in, 15,748 in)

Geschwindigkeit

0,5 m/s, 1 m/s
(1,64 ft/s, 3,28 ft/s)

Wiederholbarkeit

0,1 µm

Beschreibung

• Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung • Reinraumtauglich • Größe der Bewegungsplattform 160 mm × 200 mm • Belastbarkeit bis 100 N PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, magnetisch vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Einsatzgebiete PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können. Zubehör und Optionen • Encoder • PIglide Filter und Druckregler • Ein- und mehrachsige Motion Controller • XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.