Z-Positioniertisch P-58 series

Neigungpiezoelektrisch1-Achs

Hohe Dynamik mit großer Apertur - Parallelkinematik für schnellere Reaktionszeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit - Spielfreies, hochpräzises Biegeführungssystem - Hervorragende Lebensdauer durch PICMA® Piezoaktoren - Lichte Apertur 66 mm × 66 mm - Höchste Linearität durch kapazitive Sensoren - Metrologie - Interferometrie - Photonik / integrierte Optik - Lithographie - Nanopositionierung - Rastermikroskopie - Probenausrichtung - Mikro-Bearbeitung Subnanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen mit Subnanometerauflösung ohne Kontaktierung. Sie garantieren eine ausgezeichnete Linearität der Bewegung, Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Automatische Konfiguration und schneller Austausch von Komponenten Mechanik und Controller lassen sich beliebig kombinieren und schnell austauschen. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Autokalibrierungsfunktion der Digitalcontroller nutzt diese Daten bei jedem Einschalten des Controllers. Hervorragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Feuchtigkeit und vor Ausfällen durch einen erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal längere Lebensdauer als herkömmliche polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind nachgewiesen.