Kleine, leistungsstarke SplitFlow Turbopumpe basierend auf HiPace Technologie mit einem Saugvermögen von bis zu 53 l/s am Hochvakuumflansch und 0,15 l/s an der Zwischenabsaugung (für N2).
Produktbeschreibung
• - Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
• - Hohes Saugvermögen und höchste Kompression für alle Gase
• - Integrierte Antriebselektronik, industrietauglich durch Schutzart IP 54
• - Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
• - Maximale Betriebssicherheit durch Überwachung von Betriebsdaten