Wälzkolben-Vakuumpumpe A 200 L

mehrstufigkompaktHochleistung

Anwendungen • - Schleusen- und Transferkammer in der Halbleiterindustrie • - Schleusen- und Sputterkammer in Photovoltaik-Anwendungen • - Tieftemperatur-Anwendungen und Einsatz in Forschungslabors • - Industrie (Tieftemperatur, Gashersteller, Laserquellen) Kundennutzen • - Hohe Leistung • - Zuverlässig • - Energieeffizient • - Kompakt • - Stapelbar • - Niedriger Schwingungs- und Geräuschpegel • - Plug-and-Play-System: integrierte Überwachung • - Optionale RS232 / RS485-Schnittstelle Produktbeschreibung • - Hohe Pumpzyklusfrequenz in der Schleusen-und Transferkammer • - Hohes Saugvermögen 200 m3/h