Park NX-Hivac ist ein Hochvakuum-Atomkraftmikroskop für die Fehleranalyse und die Erforschung atmosphärensensibler Materialien.
Da die Abtastung im Hochvakuum eine höhere Genauigkeit und bessere Wiederholbarkeit bietet als bei Umgebungs- oder trockenen N2-Bedingungen, können die Benutzer z. B. einen breiten Bereich von Dotierstoffkonzentrationen und Signalreaktionen in Anwendungen der Fehleranalyse messen.
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