Rasterkraftmikroskop NX-Wafer

zur online-Wafer-KontrolleIndustrieautomatisiert

NX-Wafer ist das einzige AFM für die Waferfertigung mit automatischer Fehlerprüfung. Es bietet eine vollautomatische AFM-Lösung für die Fehlerabbildung und -analyse, die die Produktivität der Fehlerprüfung um bis zu 1.000 % verbessert Einzigartige Merkmale: Geräuscharmer Atomic Force Profiler für genaue CMP-Profilmessungen mit hohem Durchsatz Sub-Angstrom-Oberflächenrauhigkeit wird mit extremer Genauigkeit und minimaler Spitze-zu-Spitze-Abweichung gemessen Intelligente ADR-Software Mit Smart ADR von Park bietet NX-Wafer eine vollautomatische Fehlerprüfung und -identifizierung, die einen kritischen Inline-Prozess zur Klassifizierung von Fehlertypen und deren Ursprung durch hochauflösende 3D-Bildgebung ermöglicht. Smart ADR wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und ist die fortschrittlichste Defektprüfungslösung auf dem Markt. Sie bietet eine automatische Zielpositionierung ohne arbeitsintensive Referenzmarken, die häufig die Probe beschädigen. Das Smart ADR-Verfahren steigert die Produktivität um bis zu 1.000 % im Vergleich zu herkömmlichen Methoden der Fehlerprüfung. Darüber hinaus bietet die neue ADR-Funktion dank der bahnbrechenden True Non-Contact™ Mode AFM-Technologie von Park eine bis zu 20-mal längere Spitzenlebensdauer. Lesen Sie mehr: https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview