Optisches Profilometer UA3P series

3DinterferometrischRasterkraft

Die Profilometerserie UA3P von Panasonic wurde für die Messung von asphärischen Linsen und Formen, Halbleiterwafern und anderen Präzisionskomponenten entwickelt, die eine Genauigkeit im Nanometerbereich von bis zu 200 mm x 200 mm erfordern. Es stehen verschiedene Maschinenmodelle zur Verfügung, um Ihre Anforderungen an die optische Messtechnik und die Messung hoher Aspektverhältnisse zu erfüllen. Die Modelle UA3P-300, UA3P-4 und UA3P-5 bieten dem Anwender die Genauigkeit der AFM-Technologie mit dem Messbereich eines CMM. Unser einzigartiger Ansatz nutzt die Atomkraftsondentechnologie im Taster und HeNe-Laser-basierte interferometrische XYZ-Achsenpositionierung. Kombiniert man diese Technologie mit einer soliden Granitbasis, erhält man ein robustes Messsystem, das in der Fabrikhalle eingesetzt werden kann und dennoch eine Gesamtunsicherheit von 0,1 um bietet. - Das UA3P kann asphärische Linsen und Freiformspiegel und deren Formen messen, die für digitale Unterhaltungselektronik wie Mobiltelefone, DSCs, DVDs und Blu-ray-Recorder sowie in den Bereichen Heimsicherheit, optische Kommunikation und Fahrzeugbau unerlässlich sind - Ultrapräzise Messung in nur 3 Minuten - Automatische NC-Programmerstellung - Umfangreiche Bibliothek mit optionaler Software - Einfache Bedienung unterstützt schnelle Rückmeldung zur Bearbeitung Äußere Abmessungen (B x T x H) mm 700 x 780 x 1.500 Masse des Hauptkörpers 700 kg (Andere: 150 kg) Messbereich (X, Y, Z-Achsen) mm 30x30x20 Messobjekt-Platzierungsbereich (X-, Y-, Z-Achse) mm 100x100x100 Messtaster AFP Auflösung 0.3nm Max. Neigungswinkel für Oberseitenmessung 75º Messgenauigkeit mit Top-Surface-Sonde 30° max.: ±0,05 µm (Hin- und Rückfahrt) 45° max.: ±0,08 µm (Hin- und Rückweg) 60° max.: ±0,15 µm (Hin- und Rückweg) 70° max.: ±0,15 µm (Rückseite) *Bei Verwendung des Standard-Rubinstiftes oder des Keramikstiftes