Metrologie für Wafer IVS series

für Halbleiter

Die IVS-Serie bietet optische Overlay- und CD-Messtechnik für die Märkte Halbleiter, Verbindungshalbleiter, Leistungsbauelemente, RF, MEMS und LED. Die Systeme bieten eine hervorragende Messleistung mit Overlay- und CD-Messungen im selben Rezept Produktübersicht Das System IVS 220 ist die neueste Generation der IVS-Serie und wurde für höchste Präzision, TIS (tool induced shift) und Durchsatz auf 200-mm-Wafern entwickelt. Der Eckpfeiler der Zuverlässigkeit und Stabilität des Systems ist seine mittlere Ausfallzeit (MTBF) von 2.100 Stunden. Das IVS 280 bietet dieselbe Leistung in einem Paket, das für die Handhabung von Überkopfbahnen mit voller E84 GEM300-Fähigkeit ausgelegt ist. Flexibilität ist der Schlüssel zu Verbindungshalbleiterprozessen, bei denen viele verschiedene Wafergrößen, -dicken und -prozesse auf der gleichen Linie laufen können. Das IVS-System ist ideal für diese Bedingungen. Die vielseitige Waferhandhabung eignet sich für viele Variationen in der Waferzusammensetzung, einschließlich Silizium, Siliziumkarbid, Quarz, Glas, GaAs, GaN, LiNO3 und InP. Die IVS-Serie umfasst auch das IVS 200-System, das sich ideal für kleinere Fabriken eignet und die Möglichkeit bietet, von älteren Versionen der IVS-Plattform auf die IVS 200-Spezifikationen aufzurüsten. Die IVS-Serie trägt dazu bei, eine optimale Systemverfügbarkeit und einen jahrelangen problemlosen Betrieb zu gewährleisten. Das robuste Design des Wafer-Handling- und Navigationssystems erfordert keine Bedienerunterstützung während der Rezeptausführung. Rezepturen und Daten bleiben über die Zeit stabil. Spezielle Algorithmen für MEMS-Anwendungen ermöglichen die Messung einer breiten Palette von MEMS-Strukturen. Die nachgewiesene Fähigkeit der IVS-Serie, mit hoher Präzision und solider Zuverlässigkeit zu arbeiten, zeichnet dieses System aus.