Metrologie für Wafer OCD

Die OCD Solutions-Technologie optimiert die volle Leistungsfähigkeit und Konnektivität der Atlas- und IMPULSE-Systeme für die optische Messung kritischer Abmessungen (OCD) Produktübersicht Die OCD-Technologie von Onto Innovation bietet leistungsstarke OCD-Modellierung und fortschrittliche maschinelle Lernfunktionen sowie Echtzeit-Regression der nächsten Generation, Offline-Tools für die Empfindlichkeitsanalyse und umfassende GUI- und Struktureingabe für echte Multi-Varianten-Modellierung. Sowohl das Ai Diffract- als auch das SpectraProbe-Softwarepaket bieten fortschrittliche Funktionen in intuitiven und einfach zu implementierenden Hardware-Formfaktoren. Jede Komponente erweitert die nahtlosen OCD-Funktionen auf eigenständige und in IMPULSE integrierte Messsysteme von Atlas, von der Offline-Rezeptunterstützung und -Entwicklung bis zur fabrikweiten Vernetzung und Konnektivität für ein einfaches Flottenmanagement. Ai Diffract™ Software KI-gesteuerte OCD-Modellierungs- und Analysesoftware für hochpräzise optische Inline-Messtechnik und Offline-Rezepturentwicklung Die Ai Diffract-Software ist eine leistungsstarke Modellierungs-, Visualisierungs- und Analysesoftware mit einer intuitiven 3D-Modellierungsoberfläche, die die Erstellung und Visualisierung der komplexesten Halbleiterbauelemente von heute vereinfacht. Die firmeneigenen Anpassungsalgorithmen der Ai Diffract Software ermöglichen schnelle und genaue Berechnungen für die Signalverarbeitung bei modellbasierten Messungen mit hoher Wiedergabetreue. Automatisierungsfunktionen für die Spektralanpassung, Rezepturoptimierung und Empfindlichkeitsanalyse bieten eine hohe Benutzerproduktivität. Die erste KI-gesteuerte Engine auf dem Markt kombiniert physikalisch basierte Modellierung und maschinelles Lernen, um die robusteste Lösung mit kurzer Lösungszeit zu liefern.