Inspektionsmaschine für Wafer AWX FSI

PartikelIndustrieFehler

Das AWX FSI-System ist für Waferhersteller unerlässlich, um eine schnelle Partikelüberwachung kritischer Prozesswerkzeuge zu ermöglichen. Produktübersicht Unstrukturierte Wafer erfordern die Qualitätskontrolle, die das AWX FSI-System mit Laser-Dunkelfeldinspektion zur Erkennung von Partikeln, Kratzern, Flächenfehlern und Mikrorauheit (Haze) auf nackten Wafern bietet. Das AWX FSI-System ist in der Lage, verschiedene Wafersubstrate, Materialien und Größen zu messen, darunter blankes Silizium und dotierte oder beschichtete Wafer. Die automatische Handhabung verschiedener offener Kassettentypen und ein Pre-Aligner ermöglichen eine große Flexibilität für den Einsatz dieses Geräts in verschiedenen Umgebungen von F&E, Produktion und Qualitätssicherung. Das AWX-Prüfgerät kann 150-, 200- und 300-mm-Wafer handhaben und ermöglicht eine automatische Sortierung der Wafer auf der Grundlage der Prüfergebnisse. Spezifikationen - 150/200/300mm automatische Waferinspektion - Empfindlichkeit bis in den Nanometerbereich - Trübung - Sortierfähigkeit - Flexible Werkzeugkonfiguration - Automatische Fehlerklassifizierung