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Metrologie für Halbleiter QS1200™für Wafer
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Eigenschaften
- Typ
- für Wafer, für Halbleiter
Beschreibung
Das QS1200 FTIR-Messgerät ist ein Tischsystem für die Dotierstoffüberwachung, Epi-Dickenmessung und andere Anwendungen
Produktübersicht
Das QS1200 System wurde speziell für fortschrittliche Halbleiter-Fabriken entwickelt, die Materialcharakterisierung in Bereichen der Silizium-Züchtung und der Bauelementefertigung durchführen. Es bietet eine neue Ebene der Integration der FTIR-Technik unter Verwendung bewährter optischer Technologie und einer manuellen Waferschale zur Aufnahme von SEMI-Standardwafern mit 100, 125, 150, 200 und 300 mm Durchmesser. Auch ungerade Waferstücke und 2mm dicke Siliziumscheiben können auf dem QS1200-System verwendet werden.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.