Stationärer Dickenmessmaschine ECV Pro™

Folienkontaktlosmit automatischer Kalibrierung

Das ECV Pro System wurde von Grund auf so konzipiert, dass alle bedienerabhängigen Schwankungen der Daten eliminiert werden. Produktübersicht Das ECV Pro System ist der Industriestandard für die Messung von aktiven Ladungsträger-Konzentrationsprofilen in Halbleiterschichten. Die neu entwickelte digitale Elektronik des Systems eliminiert die Drift und verbessert das Signal-Rausch-Verhältnis erheblich. Das einzigartige Design des ECV Pro Systems eliminiert alle bedienerabhängigen Variationen der Daten. Einführung der ersten In-Situ-Kamera ECVision, die es dem Anwender ermöglicht, Halbleiter/Elektrolyt-Schnittstellen abzubilden. Es liefert auch neue Erkenntnisse über die Entfernung von Filmen oder das Aufdecken von Defekten während des Ätzprozesses. Die ECV Pro Systemsoftware basiert auf dem Industriestandard SEMI E-95 Richtlinien. Diese Software unterstützt die automatische Profilierung und ist für die Erstellung von Prozessregelkarten programmiert.