Photolumineszenz-Inspektionssystem Imperia®

optisch3Dautomatisiert

Mit seiner einzigartigen optischen Designtechnologie erkennt und klassifiziert das Imperia-System ertragsmindernde Fehler mit dem zusätzlichen Vorteil einer gleichzeitigen hochmodernen Photolumineszenz (PL)-Produktionsüberwachung Produktübersicht Mit seiner einzigartigen optischen Designtechnologie erkennt und klassifiziert das Imperia-System ertragsmindernde Fehler mit dem zusätzlichen Vorteil einer gleichzeitigen hochmodernen Photolumineszenz (PL)-Produktionsüberwachung. Die Kombination dieser beiden post-epitaktischen metrologischen Screening-Funktionen in einem einzigen System mit hohem Durchsatz minimiert den wertvollen Platzbedarf in der Fertigung und die Zeit für die Handhabung der Kassetten. Dieses Produkt kann dem Anwender erhebliche wirtschaftliche Einsparungen bringen (z. B.: genaue Vorhersage der MOCVD-Reaktorausbeute und PM-Zeitpläne) - Spektrales PL-Mapping mit hoher Dichte - Defektanalyse und -klassifizierung - Epitaxieschichtdicke und normalisierte Reflektivität mit hoher Auflösung - Profilierung der Waferform und 3D-Bogenrekonstruktion