Photolumineszenz-Inspektionssystem Vertex™

automatischfür Epitaxie-Reaktorfür Wafer

Das Vertex-System bringt den PL-Messprozess unter Kontrolle, so dass Ihr Epitaxieprozess fest unter Kontrolle bleibt. Produktübersicht Das neueste Mitglied der RPM-Familie nach Industriestandard, das Vertex-System, nimmt ein großartiges Konzept auf und treibt es zu seinem ultimativen Abschluss. Mit Hilfe eines neuartigen, integrierten Strahlprofils kontrolliert das Vertex-System die Leistungsdichte, indem es sowohl die Laserleistung als auch die Abmessungen des Brennflecks ständig überwacht. Dadurch kann der Anwender die Leistungsdichte auf einen festen Wert einstellen, wodurch alle Variationsquellen zwischen den Werkzeugen eliminiert werden, was eine gute Werkzeuganpassung in einer Produktionsumgebung ermöglicht. Außerdem hilft die Leistungsdichtesteuerung dem Vertex-System, hochgenaue und wiederholbare Datenmessungen zu liefern.