Spaltdetektoren der Serie VE
Die Spaltdetektoren der Serie VE werden mit dem CL-2400 verwendet, um einen Spalt (Verschiebung) der Kapazität zwischen dem Detektor und dem Messobjekt zu messen und anzuzeigen.
6 mm Zieldurchmesser, 0,5 mm Bereich, 0,1 um, 0,05 um oder 0,02 um Auflösung
8 mm Zieldurchmesser, 1,0 mm Bereich, 0,1 um Auflösung
10 mm Zieldurchmesser, 1,5 mm Bereich, 0,5 um oder 0,2 um Auflösung
20 mm Zieldurchmesser, 3,0 mm Bereich, 1,0 um oder 0,5 um Auflösung
40 mm Zieldurchmesser, 8 mm Bereich, 1,0 um oder 2,0 um Auflösung
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