Biegeradius-Messmaschine

optischautomatisch

Optisches Oberflächenform-Messgerät für Prüflinge bis (1600 x 1200) mm Das Gerät dient zur berührungslosen optischen Messung der Verbiegung (=Warp) liegender, beschichteter Floatglasscheiben. Dazu wird der Höhenunterschied an verschiedenen Messstellen ausgewertet. Der Warp ergibt sich aus der Differenz zwischen dem höchsten und niedrigsten Punkt. Hardware Das Messgerät besitzt eine ebene Platte zur Auflage des beschichteten Substrates. Die maximale Substratgröße beträgt 1600mm x 1200mm. Die Unebenheit der Platte beträgt weniger als 100 μm. Die Konstruktion der Auflagefläche gewährleistet die einfache Ablage und Entnahme des Glassubstrates. Um das Substrat immer an der gleichen Stelle zu positionieren, ist eine Zentriervorrichtung in Form von Anschlägen vorhanden. Da die Reflektion der Beschichtung nicht homogen ist, kann die Software sowohl niedrig- als auch hochreflektive Bereiche auf dem Glas verarbeiten. Die Messung der Verbiegung des beschichteten Substrates läuft nach dem Starten selbstständig ab. Das Messgerät ist dabei in der Lage, die komplette Substratfläche zu vermessen. Die Höhe der Oberkante des Prüflings über der Platte beträgt bis zu 20 cm, um bei Bedarf einen Unterbau, der gewisse Prozesssituationen nachbildet, bei der Messung verwenden zu können. Das Messgerät ist unempfindlich gegenüber Schwingungen und kann daher in der Fertigung eingesetzt werden.