Ebenheitsmessgerät FLATSCAN

Oberflächenoptisch

Berührungs­lose automatische 2D oder 3D Messung von Bow, Warp, Oberflächen­profil, Ebenheit mit Software zur Berechnung des Dünn­film­stresses (Wafer­stress) für reflektierende Ober­flächen (z.B. Wafer und Glas­substrate) Merkmale hohe Messgenauigkeit berührungslose Messung wahlweise 2D- und 3D-Messung nahezu beliebig große Messfelder geeignet für stark gekrümmte Oberflächen, wie z.B. Röntgenspiegel, Si-Wafer, Göbel-Spiegel durch Stitching noch stärkere Krümmungen messbar FLATSCAN dient zur berührungslosen Messung der Ebenheit, Welligkeit und Durchbiegung (Warp, Bow) reflektierender Oberflächen aller Art. Das optische Messprinzip gewährleistet eine hohe Genauigkeit. Es basiert auf der hochgenauen automatischen ortsabhängigen Messung des Reflexionswinkels eines senkrecht auf die Oberfläche treffenden Lichtstrahls. Aus der Änderung des Reflexionswinkels von Messpunkt zu Messpunkt kann die Oberflächenform rechnerisch exakt rekonstruiert werden. Für einige Anwendungen sind aber auch die Reflexionswinkel selbst von Interesse. Deshalb bietet die Software die Möglichkeit, auch auf die Winkelwerte selbst zuzugreifen. Für Anwendungen im Halbleiterbereich kann die Software aus den gemessenen Krümmungsradien den Dünnfilmstress berechnen.