Kontaktwinkelmessgerät SURFTENS-automatic

für die Halbleiterindustrieautomatisch

Automatisches Kontakt­winkel- und Oberflächen­spannungs­messgerät mit Kreuztisch zur automatischen Proben­positionierung nach frei programmier­baren Mess­vorlagen oder per Joystick, schritt­motor­getriebenem Dispens­system, schritt­motor­getriebener Absenk­einrichtung Das Kontaktwinkelmessgerät Surftens Automatic wurde speziell für den Einsatz in der Halbleitertechnologie zur Messung des Benetzungsverhaltens von Siliziumwafern entwickelt. Es zeichnet sich durch folgende Merkmale aus: Reinraumtauglichkeit vollautomatischer Messablauf kompakter Aufbau motorischer Messtisch (200 x 200) mm Softwaremodul zur Berechnung der freien Oberflächenenergie aus bis zu 5 Testflüssigkeiten Die Einstellung des Benetzungsverhaltens von Siliziumwafern ist ein Standard-Prozessschritt in der Halbleitertechnologie, z.B. bei der Herstellung von Schaltkreisen und Solarzellen. Die objektive Messung der Oberflächenenergie vor allem nach der Behandlung der Oberfläche ist notwendig, um die Einhaltung technologischer Parameter im Produktionsprozess zu kontrollieren und zu garantieren oder neue Technologien zu entwickeln. Surftens Automatic dient dazu, die Homogenität der Oberflächeneigenschaften vollautomatisch zu ermitteln. In frei definierbaren Rastern werden automatische Tropfen gesetzt und deren Kontaktwinkel gemessen. Diese Kontaktwinkelmeappings erlauben Aussagen über die Qualität und Funktion der Anlagen zur Oberflächenbehandlung.