Das mikroprozessorgesteuerte UV-Licht-Intensitäts-u. Energie-System des Modell-458 profiliert genau Belichtungsenergie (Dosis) um die Leistung vom Stepper festzusetzen. Es ist für Gebrauch mit der hohen Intensität ASML, Canon, dem Nikon und den hohe Intensitäts-Wafer-Steppern Ultratech bestimmt. Liest Intensität, Energie und Zeit (4000 mW-/cm², 999,9 mJ-/cm²) für 365, 400, 420 und 436 Nanometer-Wellenlängen. Optionales Kabel RS232 verfügbar mit der Software 458 arbeiten, um Dosisdaten zu einem computer.APPLICATION zu schicken
Vervollkommnen Sie für eine große Vielfalt von Industrien, in denen die Feinmessung von UVenergie wesentlich ist, die vorbildlichen 458 ist bestimmt für jede mögliche Anwendung, die wiederholbares, zuverlässiges UVmaß erfordert.
HARDWARE-EIGENSCHAFTEN
Durchschnitte bis 9 Belichtungen
Digitalanzeige liefert klares, nachweisbare Maße NIST
Misst Intensität, Zeit und Energie
Aufzeichnungs% Abweichung über einer Reihe Belichtungen
Sondenwellenlängen-Anzeigenhilfen Fehler in der Einrichtung verhindern
Einfache Druckknopfoperation liefert zuverlässige Ergebnisse
Herunterzuladen Ertrag RS 232 und Rekordanalysatormaßergebnisse
Abnehmbare Sonden, zum der Spektralantwort vieler Photoresists zusammenzubringen
Anzeigenlesungen können eingefroren werden
Vorderteilanzeigen fordern den Benutzer auf
Schroffer Aluminiumfalleigenschaftsgriff und Sondenbeutel für Beweglichkeit
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