LED-Lichtquelle

UVUSBfür Fotolithografie

Diese neue UV-LED-Lichtquelle wurde von den bewährten Lithografie-Experten von OAI entwickelt und konstruiert. Die Lichtquelle bietet eine Reihe von einzigartigen Vorteilen, von denen der wichtigste die gleichbleibende Intensität über eine außergewöhnlich lange Lebensdauer ist. Die Lichtquelle ist äußerst energieeffizient, erfordert keine Wartung oder einen Lampenwechsel und enthält kein Quecksilber. Die OAI UV-LED-Lichtquelle liefert eine Strahlgröße zwischen 4" und 12" mit einer Strahlgleichmäßigkeit von mehr als +/- 4 %. Sie verfügt über eine Prismenanordnung und einen Lichtleiter für hervorragende Gleichmäßigkeit. Der Kollimationswinkel beträgt weniger als 2 Grad. Diese Lichtquelle ist für variable Intensitäten mit einer Wellenlänge von 365nm, 405nm oder einer Kombination davon geeignet. Zu den Funktionen gehören Dosissteuerung und zeitgesteuerte Belichtung. Die OAI-Lichtquelle ist einfach zu bedienen und verfügt über eine Touchscreen-Schnittstelle und eine USB-Fernbedienung. Die UV-Lichtquelle bietet eine Vielzahl von Optionen, darunter ein hochbelastbares Stativ, ein Tooling-Modul für den Fotolithografie-Druck und Versionen mit einer oder mehreren Wellenlängen. Dieses System kann in jedes OAI-Lithografiesystem integriert werden.