Mikroskop-Objektiv / Zoom NanoVue

für DetektionInspektionUV

Mit der Entwicklung des NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom-Objektivs hat Navitar auf die zunehmende Notwendigkeit reagiert, die Auflösungsgrenzen für die optische Inspektion weiter zu erweitern. Das optische System NanoVue arbeitet im tief ultravioletten (DUV) Licht und ermöglicht die Erkennung und Charakterisierung von ertragskritischen Defekten bei gleichzeitiger Verdoppelung der Auflösungsgrenze herkömmlicher Mikroskope mit sichtbarem Licht. - Inspektionsempfindlichkeit für 90 nm. - Zoombereich von 75X - 300X in Verbindung mit einem 100X Objektiv. - 0,15 bis 0,037 mm FOV mit Sensor im 2/3"-Format und 100X-Objektiv. - Optische Inspektion bis unter 0,1 um mit Deep UV-Objektiven. - Die einzige Deep-UV-Zoom-Lösung der Branche. Das NanoVue Zoom-Objektiv ist ideal für die Entwicklung neuer OEM-Produkte und die Integration in DUV-Instrumente, die einen höheren Durchsatz erfordern, und ermöglicht den Kunden die schnelle Entwicklung neuer, flexibler automatisierter Instrumente mit vielen Funktionen, geringeren Kosten und kleinerem Platzbedarf.