Linearer Positioniertisch ABW400 series

XYvertikalmotorisiert

● Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung ● Reinraumtauglich ● Größe der Bewegungsplattform 400 mm × 138 mm ● Verfahrbereiche 200 mm bis 1000 mm ● Auflösung bis 5 nm Die Tische sind mit einem servogetriebenen Linearmotor mit vorgespannten Luftlagern und integriertem Linearencoder ausgestattet. Die Kombination dieser berührungslosen Komponenten ergibt eine reibungsfreie Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet. Ein Hochleistungs-Linearmotor kann den Tisch innerhalb weniger Millisekunden auf Höchstgeschwindigkeit bringen, und die Hochleistungslager können Nutzlasten von bis zu 20 kg tragen. Das seitlich gegenüberliegende, aktiv vorgespannte Luftlagerkonzept dieses Modells ermöglicht die Montage in jeder Ausrichtung. ● Drehgeber ● Filter- und Luftaufbereitungssätze ● Einzel- und Mehrachsen-Bewegungssteuerung ● XY-Setups und individuelle Konfigurationen ● Kabelführungsvarianten ● Optionen mit Gegengewicht für vertikale (Z) Ausrichtung ● Kundenspezifische Anpassungen möglich ● Grundplatten aus Granit und Systeme zur Schwingungsdämpfung positioniersysteme eignen sich ideal für viele hochpräzise Anwendungen wie Metrologie, Photonik und Präzisionsabtastung in der Halbleiter- oder Flachbildschirmfertigung. Dank der reibungsfreien Bewegung bilden sich keine Partikel, was die Tische ideal für Reinraumanwendungen macht.