Absolutdrucksensor JC-UC2

Vakuumkapazitiv

JC-UC2 Kapazitiver keramischer Drucksensor Messprinzip Der trocken-keramische kapazitive Drucksensor Ceracore JC-UC2 besteht aus Al2O3 (99,9 %), einem hochbeständigen keramischen Werkstoff für viele aggressive Gase und Flüssigkeiten. Zylindrische Keramikkomponenten (Membrane, Messkörper) sind zu einem hochfesten, hermetisch dichten Drucksensorelement verklebt. Bei Absolutdrucksensoren bleibt das im Produktionsprozess erzeugte Vakuum von 3,0 x 10-6 mbar zwischen Membrane und Messkörper dauerhaft erhalten. Dies ermöglicht eine auf das Vakuum bezogene Druckmessung. Bei Überdrucksensoren wird die Rückseite der Membrane belüftet, d.h. dieser Sensor misst den Überdruck relativ zum Atmosphärendruck. Elektrisch stellt das Sensorelement einen Plattenkondensator dar, dessen Kapazitätsänderung das Maß für die Druckänderung ist. Das kapazitive Messverfahren erfüllt höchste Anforderungen an Auflösung und Reproduzierbarkeit. Zusammen mit dem hysteresefreien Verhalten des Materials Al2O3 ist es die Basis für die hervorragenden Spezifikationen des Sensors. Darüber hinaus ist der keramisch-kapazitive Druckaufnehmer Ceracore JC-UC2 eine trockene Messzelle, d. h. es gibt keine Trennmembran oder Füllflüssigkeit, die die Messung beeinflussen könnte. Ein weiterer Vorteil des kapazitiven Keramiksensors ist seine hohe Überlastfestigkeit. Nach Beseitigung der Überlast kehrt er ohne Beschädigung oder Hysterese in die Ausgangslage zurück.