Relativdruckmessumformer JC680

absolutpiezoresistivanalog

JC680 Explosionsgeschützter Hochtemperatur-Druckmessumformer Einführung Für den allgemeinen piezoresistiven Drucksensor werden die vier kraftaufnehmenden Widerstände seiner empfindlichen Wheatstone-Brücke zum Steuern und Messen in IC-Technik gefertigt. Die Widerstände sind mit PN-Übergang voneinander isoliert. Die höchste Betriebstemperatur beträgt aufgrund der temperaturbeständigen Begrenzung des PN-Übergangs nur 125℃. Die Leistung des Sensors verschlechtert sich jedoch stark, wenn die Temperatur über 100℃ liegt, da der Leckstrom des PN-Übergangs mit dem Exponenten der Temperatur ansteigt, was den für den herkömmlichen piezoresistiven Sensor verfügbaren Temperaturbereich begrenzt. Die Verwendung der Dickschichttechnologie zur Herstellung des Kraftmesswiderstandes kann die Betriebstemperatur auf bis zu 125℃ erweitern; die Verwendung der multikristallinen Silizium-SOI-Technologie zur Herstellung des Kraftmesswiderstandes kann die Betriebstemperatur auf bis zu 150℃ erweitern; die Verwendung der traditionellen SOS-Technologie und der modernen SOI-Technologie kann die Betriebstemperatur auf bis zu 180°C-350°C erweitern. Die Verwendung des neuesten β-Phasen-Hochtemperatur-Kraftsensormaterials SiC, kombiniert mit SOI-Technologie kann die Betriebstemperatur auf bis zu 450℃ ~ 850℃ erweitern. Der explosionsgeschützte Hochtemperatur-Druckmessumformer JC680 wird durch einen strengen Prozess mit international fortschrittlichen Sensoren zusammengebaut und mit hochpräzisen elektronischen Elementen unterstützt.