Der Precision Spray Coater ist eine vollständig automatisierte Anlage für die Dünnschichtabscheidung durch Sprühbeschichtung.
Das ESAM-Verfahren (Electrostatic Self Assembly Multilayer) kann modifiziert werden, um den Abscheidungsprozess zu beschleunigen. Anstatt das Substrat in verschiedene anionische und kationische wässrige Lösungen einzutauchen, können diese Lösungen mit einem Hochdrucksprühgerät aufgesprüht werden, was die Beschichtungszeit von mehreren Minuten auf wenige Sekunden reduziert.
Um das Sprühen zu automatisieren, ist ein elektropneumatisches System erforderlich, das die Aktivierung und Deaktivierung der einzelnen Sprühgeräte steuert, sowie ein Mechanismus, der die Sprühdüsen oder das Substrat bewegt.
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