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Ultrasonic PRO Spray Coater ist eine vollständig automatisierte Anlage für die Dünnschichtabscheidung mittels Ultraschall-Sprühbeschichtung, bei der kleine Tropfengrößen und Gleichmäßigkeit erforderlich sind.
LBL DURCH SPRÜHBESCHICHTUNG
TECHNOLOGIE
Das ESAM-Verfahren (Electrostatic Self Assembly Multilayer) kann modifiziert werden, um den Beschichtungsprozess zu beschleunigen. Anstatt das Substrat in verschiedene anionische und kationische wässrige Lösungen zu tauchen, können diese Lösungen mit einem Hochdrucksprühgerät aufgesprüht werden, wodurch die Beschichtungszeit von mehreren Minuten auf wenige Sekunden verkürzt wird.
Um das Sprühen zu automatisieren, ist ein elektropneumatisches System erforderlich, das die Aktivierung und Deaktivierung der einzelnen Sprühgeräte steuert, sowie ein Mechanismus, der die Sprühdüsen oder das Substrat bewegt.
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