Kammerofen VF_1900_1

Hochvakuum-kontinuierlich

Max. Temperatur (°C): 1900 Temperatur bei Dauerbetrieb (°C): 1700 Volumen (L): 1 Vakuumgrad: 10^-4 Torr Gasdurchflussmesser: Massendurchflussregler (Anzahl: 2 für CH4 und H) Einlassöffnungen: KF 25 (Gesamtzahl: 2, 1 Stück für Vakuum, 1 Stück für Inertgaseinlass) Druckregelung: Drucktransmitter und Vakuumsensor Sweeping Limit für Vakuum: 10^-4 Torr Diffusionspumpensystem wird in den Ofen integriert. Nach dem Vakuumieren wird der Heizprozess mit Ar, CH4 und H fortgesetzt. Kammer-Typ: Vertikal und zylindrisch Heizkammer: Verstärkte Kabine, resistent gegen Hochvakuum. Heizelemente: Graphit Hitzeschutzschilde: Graphit Empfindlichkeit der Temperaturanzeige: ± 1°C Kontrollierte Abkühlung: Es gibt keine Option zur schnellen Abkühlung. Für eine langsame Abkühlung kann sie jedoch mit 1 °C/min gesteuert werden. Art der Beladung: Beladung von oben HMI: PLC + Siemens 9 ̎Touch Screen