Gasfilter

SiebStaubhoher Durchfluss

Hochpräzise, strömungsgünstige Ganzmetallfiltration, die speziell für IGS-Baugruppen (Integrated Gas System) entwickelt wurde. Mott High Purity - seit Jahren Lieferant von porösen Metallfiltern und Durchflussbegrenzern für die Halbleiterfertigung - bietet diese Produkte auch in IGS-kompatibler Ausführung an. So können Sie jetzt die für IGS typische einfache Installation, Zugänglichkeit von Stabkomponenten, Wartungsfreundlichkeit, reduzierte Montagezeit und Kompatibilität zwischen den Komponenten mit den exklusiv von Mott angebotenen Auswahl- und Leistungsvorteilen kombinieren. Die Mission von Mott ist es, Kunden einzigartige Filtrations- und Durchflusskontrolllösungen anzubieten, bei denen Materialien verwendet werden, die speziell für anspruchsvolle Betriebsbedingungen, einen Wirkungsgrad von 9 LRV und eine anspruchsvolle Durchflusskontrolle entwickelt wurden. Unser komplettes Sortiment an IGS-Filtern und Durchflussbegrenzern ist auf Kompatibilität mit den Gassystemschnittstellen ausgelegt, die derzeit für Prozesswerkzeuge, Gasschränke und Ventilblockkastenanlagen nach SEMI 2787 spezifiziert werden. Da sich die Herausforderungen der 300-mm-Umstellung ergeben haben, hat unsere Technologie die notwendigen Lösungen bereitgestellt. Hohe Durchflussraten - Mott poröse Metallmedien haben einzigartige Eigenschaften, die es ermöglichen, eine größere Bandbreite an Durchfluss-, Material- und Konfigurationsoptionen als unsere Wettbewerber zu produzieren. Diese Flexibilität in der Geometrie ermöglicht Filter mit Durchflussraten von bis zu 100 slpm und erfüllt gleichzeitig die Anforderungen der Industrie. Komplette Produktkonfigurationen - Mott bietet standardmäßig die modularen IGS-Montagen in der 1,125"-Konfiguration mit C-Seal oder W-Seal sowie in der 1,5"-Version mit C-Seal oder W-Seal an. Wir haben das Design, das Sie brauchen.