Mott GasShield® Oberflächenmontagefilter bieten erstklassige 0.0015-μm-Filtrationsfähigkeiten in integrierten Gassystemen, die in Halbleiter-OEM-Werkzeugen eingesetzt werden. Diese GasShield® Oberflächenmontierte Filter sind so konzipiert, dass sie nahtlos in die oberflächenmontierten 1.125-Zoll- und 1.5-Zoll-Gasverteilungssysteme mit vier Befestigungselementen passen und sowohl C-Dichtungs- als auch W-Dichtungskonfigurationen aufweisen. Sie sind mit einer Vielzahl von Inertgasen sowie den meisten Spezialgasen kompatibel.