Luftdurchlass

Wie man den Durchsatz maximiert, ohne die Ausbeute zu beeinträchtigen. Ein einfaches Mittel, um den Durchsatz eines Werkzeugs zu erhöhen, ohne die Ausbeute zu beeinflussen, besteht darin, die Geschwindigkeit aller Schritte zu erhöhen, die nicht mit der tatsächlichen Bildung der Halbleiterschaltung zusammenhängen. Ein solcher Schritt ist die Wiederbeaufschlagung oder Entlüftung der Schleusenkammer, die eine Überdruckumgebung schafft, die die Partikelmigration aus dem Reinraum in die Kammer verhindert. Die Herausforderung: Druckbeaufschlagung ohne störende Partikel Die Kammer ist eine kontaminierte Umgebung, und die Druckbeaufschlagung kann die darin enthaltenen Partikel stören, so dass sie auf die Oberfläche des Wafers fallen. Die Herausforderung besteht darin, so schnell wie möglich Druck aufzubauen, ohne jedoch Gasdüsen zu erzeugen, die Partikel stören können. Die Lösung: Mott GasShield® POU (Point-of-Use) Diffusoren Mott poröses Metall kann die Zeit der Ladeschleuse ohne den negativen "Jet" Effekt durch Duschköpfe und einfache 1/4" Einlassleitungen stark reduzieren. Das poröse Metall reduziert die Geschwindigkeit des Spülgases, um einen gleichmäßigen und laminaren Gasstrom in die Kammer zu gewährleisten. Alternativen zum Mott Diffusor erzeugen Strömungen mit einem oder mehreren, möglicherweise nicht laminaren Gasstrahlen. Im Vergleich dazu wurden unsere Durchlässe auf eine gleichmäßige Strömungsgeschwindigkeit von ±5% über die gesamte Oberfläche getestet.