Thermischer Massen Durchflussregler P2 MFC

für korrosive Gasedigital

Das PFC-60 ΠMFC, hergestellt durch MKS Instrumente, ist ein digitaler thermischer Mengenflußsteuerpult, der besonders für ätzende Gase benutzt wird. Die Vorrichtung bestehen aus Verbesserung in der Technologie in Funktionalität und Leistung ausgedrückt. Sie helfen den Benutzern im Halbleiter und in den Dünnfilmanwendungen des hohen Reinheitsgrades. Die Steuerung des Datenflusses der Vorrichtung ist zu den aufwärts und abwärts gerichteten Störungen unempfindlich. Die Realzeitsteuerung des Gasflusses und seiner Genauigkeit wird verbessert. Sie haben besseren Raum als PID gegründete digitale MFCSs zusammenzupassen. Der Druck-Sensor und DIE LED-Anzeige wird kombiniert, um die Bestandteile zu vermindern, die in einem Gasstock benötigt werden. Die Einstellung und die Störungssuche der Kraftstoffregler, die in-situ sind, liegt an der Netz gegründeten Browsersschnittstelle.