Die Restgasanalysatoren von MKS sind für die allgemeine Restgasanalyse konzipiert. Sie sind für verschiedene Restgasanalysatorenanwendungen wie Beschleuniger, Vakuumbeschichtungen und Hochenergiephysik einsetzbar. Sie sollen neue Möglichkeiten für die Vakuumüberwachung und E-Diagnostik eröffnen
Die Restgasanalysatoren sind so konzipiert, dass die Vakuum-Fehlersuche und -Überwachung von Kammerrestgasen mit einer beispiellosen Bandbreite an Gerätesteuerungsmöglichkeiten einfach ist.
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